產品時間:2024-06-02
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AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達臺
的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,激光對中,測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察分析。
特點
1. 自動化功能
4英寸自動馬達臺
自動更換懸臂功能
2. 可靠性
排除機械原因造成的誤差
大范圍水平掃描
采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運動所產生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是,用軟件校正方式不能*消除掃描器圓弧運動的影響,圖片上經常發生扭曲效果。
AFM5500M搭載了研發的水平掃描器,可實現不受圓弧運動影響的測試。
樣品 :硅片上的非晶硅薄膜
高精角度測量
普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時候,會發生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產生形貌誤差的直接原因。
AFM5500M中搭載的掃描器,在豎直方向上不會發生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。
樣品 : 太陽能電池(由于其晶體取向具有對稱結構)
3. 融合性
親密融合其他檢測分析方式
通過SEM-AFM的共享坐標樣品臺,可實現在同一視野快速的觀察分析樣品的表面形貌,結構,成分,物理特性等。
SEM-AFM在同一視野觀察實例(樣品:石墨烯/SiO2)
上圖是AFM5500M拍攝的形貌像(AFM像)和電位像(KFM像)分別和SEM圖像疊加的應用數據。
與其他顯微鏡以及分析儀器聯用正在不斷開發中。